光子学报
2022, 51(10): 1017001
Author Affiliations
Abstract
1 Shandong Provincial Key Laboratory of Laser Polarization and Information Technology, Department of Physics, School of Physics and Engineering, Qufu Normal University, Qufu 273165, China
2 College of Chemistry and Chemical Engineering, Qufu Normal University, Qufu 273165, China
3 College of Precision Instrument & Opto-electronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China
4 Key Laboratory of Opto-electronics Information and Technical Science, Ministry of Education, Tianjin University, Tianjin 300072, China
The polarization of a D-shaped fiber is modulated after immersing it in magnetic fluid (MF) and applying a magnetic field. Theoretical analysis predicts that magneto-optical dichroism of MF plays a key role in light polarization modulation. During light polarization modulation, the evanescent wave polarized parallel to the magnetic field has greater loss than its orthogonal component. Light polarization of a D-shaped fiber with a wide polished surface can be modulated easily. High concentration MF and a large magnetic field all have great ability to modulate light polarization.
fiber optics components polarization-selective devices magneto-optic systems magneto-optical materials Chinese Optics Letters
2020, 18(1): 010601
1 江苏理工学院材料工程学院, 江苏 常州 213001
2 江苏省高校先进材料设计与增材制造重点实验室, 江苏 常州 213001
在45钢表面制备了Fe901激光熔覆层,检测了熔覆层的组织、物相与硬度,采用干摩擦方式对激光熔覆层与45钢试样进行了摩擦磨损实验。结果表明:熔覆层组织均匀致密,组成相主要为马氏体和少量CrFeB、Cr7C3金属间化物;熔覆层的平均硬度为718 HV,显著高于基体的硬度(269 HV);45钢的磨损机制主要为磨粒磨损、疲劳剥落和氧化磨损,熔覆层的磨损机制主要为磨粒磨损;当加载载荷为10,20,30 N时,在干摩擦条件下,激光熔覆层的摩擦因数比45钢低,相对耐磨性分别为45钢的4、18、20倍,表明激光熔覆Fe901合金显著提高了45钢的耐磨性能。
激光技术 激光熔覆 Fe901合金 摩擦磨损性能
1 武汉颐光科技有限公司, 武汉 430223
2 华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室, 武汉430074
3 华中科技大学 武汉光电国家研究中心, 武汉 430074
为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测量的PET复合衬底上TiO2梯度折射率薄膜厚度为212.48nm, 扫描电子显微镜的测量结果为211nm, 结果非常准确。以TiO2为例验证了等效衬底方法, 该方法也同样适用于其它介质膜。等效衬底法可实现PET复合衬底上的TiO2薄膜厚度的高精度测量表征, 对镀膜工艺过程监控具有重要意义。
测量与计量 聚对苯二甲酸乙二醇酯 复合衬底 介质膜 光谱椭偏 膜厚 measurement and metrology polyethylene terephthalate composite substrate dielectric film spectroscopic ellipsometry film thickness
1 中国科学院 高能物理研究所, 粒子加速物理与技术重点实验室, 北京 100049
2 中国科学院大学, 北京 100049
近年来,对紧凑、稳定及可靠型电子直线加速器的需求越来越多,其能量主要分布在几百keV到十几个MeV的范围内,其中需求最多的则是能量在MeV量级的微波电子直线加速器。在这种形势下,中国科学院高能物理研究所正在研制一台S波段6 MeV的边耦合电子直线加速器,本文对基于该加速器的模拟计算研究进行了介绍。EGUN和HFSS分别用来设计电子枪和边耦合加速结构。通过将EGUN计算得到的电子束流参数和HFSS计算得到的三维电磁场分布数据引入到PARMELA中,完成了对该加速器的多粒子动力学研究。模拟结果显示,所设计的加速器完全能够满足设计指标的要求。最终,在考虑束流负载效应的因素后,完成了边耦合加速结构的微波结构设计。
多粒子束流动力学 边耦合电子直线加速器 multi-particle beam dynamics side coupled electron linac EGUN EGUN PARMELA PARMELA HFSS HFSS POISSON SUPERFISH POISSON SUPERFISH 强激光与粒子束
2017, 29(4): 045102
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室， 湖北 武汉 430074
极紫外(EUV)光刻机中光学元件的污染和采用的污染控制策略是影响光刻机性能的重要因素，其中污染主要包括光学表面碳沉积和光学表面氧化，污染控制技术包括智能气体混合技术、保护层技术和污染物清洁技术。着重论述了上述两种主要污染形式和三种污染控制技术的研究进展，对EUV光刻机中污染研究的前景进行了展望，并指出其发展面临的挑战及有待解决的关键技术。
光学制造 极紫外光刻 光学表面污染 污染控制 氧化 碳沉积 激光与光电子学进展
2013, 50(3): 030005
1 西安电子科技大学机电工程学院, 陕西 西安 710071
2 西安电子科技大学电子工程学院, 陕西 西安 710071
对于短时间内X射线脉冲星信号形成的脉冲轮廓的信噪比低，提出基于提升小波的X射线脉冲星信号的降噪方法。分析了基于提升小波的信号降噪理论模型。在周期叠加的基础上，利用探测设备及空间环境的先验信息建立预降噪模型，并对X射线脉冲星的脉冲轮廓做降噪预处理。通过选择小波和自适应的阈值函数，利用提升小波对脉冲轮廓降噪。通过对多组罗西X射线计时探测器(RXTE)卫星探测的实测X射线脉冲星数据的仿真分析，结果表明，降噪后的脉冲轮廓信噪比得到提高,且算法有更快的处理速度。
测量 X射线脉冲星 降噪 提升小波 周期叠加
江苏技术师范学院材料工程学院, 江苏 常州 213001
通过铸造WC和Co包WC与Ni45粉末的复合添加, 运用激光合金化技术在中碳钢表面制备以WC颗粒为增强相的Ni基复合层, 对复合层的微观组织、硬度及耐磨性进行了测试与分析。结果表明: 激光合金化技术可在中碳钢表面制备均匀的WC颗粒增强合金化层, 合金层的硬度及耐磨性得到显著提高。从表面磨损形貌可知, 合金层在室温干摩擦过程中, 均发生不同程度的磨料磨损和粘着磨损, 强化机理主要为第二相强化, WC＋Ni45制备的合金层耐磨性最佳。
激光合金化 微观组织 显微硬度 耐磨性 laser surface alloying microstructure microhardness wear resistance
兰州空间技术物理研究所 真空低温技术与物理重点实验室， 兰州 730000
束流离子生产成本和推进剂利用率是表征离子推力器放电室性能的重要参数。在考虑不改变放电室几何结构、磁场分布并保持离子推力器比冲和效率的前提下，利用一维经验分析模型对兰州空间技术物理研究所研制的LIPS-200离子推力器放电室性能进行了优化分析，以实现推力器的推力从40 mN提高到60 mN的目标要求。分析结果表明，提高放电室推进剂流率至2.06 mg/s，放电室内放电电流维持在6.9 A，放电室内平均氙离子密度达到2.167×1017 m-3时，可以保证引出1.2 A的束流，推力器达到60 mN的推力。与之对应的推进剂利用率为92%，束流离子生产成本约为188.515 W/A，相比推力40 mN时，推进剂利用率为88%、束流离子生产成本为188.29 W/A的情况，放电室性能有所提高。另外，放电室性能优化过程中其鞘层电位始终保持在3.80~6.65 eV范围内。
离子推力器 放电室 束流离子生产成本 推进剂利用率 ion thruster discharge chamber beam ion production cost propellant utilization 强激光与粒子束
2012, 24(10): 2469
1 华中科技大学 数字制造装备与技术国家重点实验室,湖北 武汉 430074
2 上海微电子装备有限公司,上海 201203
调焦调平测量系统(FLMS),实时测量硅片曝光视场区域与投影物镜焦面的相对位姿,其测量准确度影响光刻机曝光成像质量。调焦调平测量采用大入射角将3个以上的探测光斑投影到硅片曝光视场区域实现对硅片高度和倾斜的测量。如果光斑位置存在误差,就会引起硅片测量准确度误差,进而造成硅片曝光视场区域离焦,影响曝光成像质量。根据调焦调平单点几何测量模型,建立了光斑位置误差模型。研究结果表明,调焦调平单光斑的测量高度误差与光斑水平位置误差成正比,经调整调焦调平的零平面与焦面近似平行,并精确校准光斑水平位置误差到0.05 mm,其造成的测量误差最大为10 nm。
测量 光斑位置误差 调焦调平测量系统 光刻机
